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蒸发源的安装环境分为两种情况,一种是蒸发源装在腔体内,另一种是蒸发源装在外置水冷套内。在自带挡板的腔体内与外置水冷套内安装需要把蒸发源挡板拆除,如果腔体内不带挡板则操作步骤如下(以费勉仪器标准中温蒸发源安装操作为例):


1
蒸发源装腔操作

第一步:准备以下材料以及工具



①cf35铜垫圈,1个

②不锈钢内六角螺丝(螺丝长度视安装法兰而定),6个

③ø6mm平垫,6个

④cf35板状螺帽,2个(视安装法兰而定)

⑤蒸发源,1个

⑥蒸发源支架,1个

工具:

①无尘手套

②无水酒精

③超净布

④5mm内六角扳手

⑤无尘服

第二步:安全检查,确保腔体已经停止抽真空,并采用高纯氮恢复到大气压,确认腔体内的材料无毒无害;

第三步:穿戴无尘服、无尘手套,先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松,再将磁耦合旋转驱动旋转至0度并把锁紧螺丝锁紧(即挡板处于关闭位置),确保不会与腔体内壁发生干涉;



第四步:使用超净布蘸取酒精擦拭蒸发源刀口和铜垫圈并目视检查无瑕疵,将铜垫圈放在蒸发源法兰刀口或者安装法兰刀口上(面向上者);



第五步:使用超净布蘸取酒精擦拭法兰刀口,并小心地将蒸发源插入腔体,确保蒸发源真空外部件不与其他物体干涉;



*在第四步和第五步中,必须检查密封刀口及铜垫圈是否完好无划伤,如果有异常则必须停止安装。

第六步:检查水冷的方向。必要时,旋转蒸发源以确保出水口处于较高位置。(即正立安装,低进高出;倒立安装,高进低出);



第七步:轻微的来回转动蒸发源法兰,确保铜垫圈与法兰吻合,并使上下两个法兰通孔对位;



第八步:将带有垫片的不锈钢内六角螺丝插入通孔内,同时另外一侧用板状螺帽(或者m6螺母)固定,螺丝拧入板状螺帽中(或者m6螺母),交叉拧紧螺丝;用合适的松紧程度将每个螺丝顺时针每次拧1/4或者1/2圈;



第九步:用万用表测量加热丝电阻值和热电偶是否正常,可对比原厂的出厂报告;



第十步:用5mm内六角扳手顺时针均匀拧紧所有螺丝;



第十一步:接水路并加压确保无泄漏;



第十二步:接电源线和热偶线。




2

腔体上拆蒸发源步骤



第一步:准备以下材料和工具





①cf35盲板,1个

②铜垫圈,1个

③蒸发源支架,1个

工具:

①无尘手套

②无水酒精

③超净布

④无尘服

⑤5mm内六角扳手

第二步:安全检查,确保腔体已经停止抽真空,并采用高纯氮恢复到大气压,确认腔体内的材料无毒无害;

第三步:穿戴无尘服、无尘手套,腔体破真空后,移除电馈通电缆(电源线和热偶线),关闭水冷,移除水冷管,用压缩空气吹干净残余冷却水避免污染工作场地;



第四步:检查磁耦合旋转驱动刻度,确认在0度并把锁紧螺丝锁紧(即挡板处于关闭位置),确保不会与腔体内壁发生干涉;

第五步:用内六角扳手均匀的预松开法兰通孔内螺丝;



第六步:一只手托住蒸发源,另外一只手拆卸螺丝,直至螺丝全部拆卸完毕;



第七步:小心取出蒸发源,避免与腔体的内壁及法兰刀口碰撞,将蒸发源正立于架子上;



第八步:使用cf35盲板封堵安装法兰。(如果短时间内将蒸发源装完料后装回腔体,那么只需用洁净的铝箔纸封堵安装法兰刀口)



*如果蒸发源和挡板是分离安装的,建议检查挡板。随着系统使用挡板上会积累原材料,建议定期清理污染系统或者蒸发源。



标签: 蒸发源
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