标准蒸发源坩埚装料操作-尊龙凯时官网

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在mbe系统中蒸发源是一个关键部件,在薄膜制备过程中经常涉及到蒸发源的坩埚装料操作。在本期公众号中,咱们就来介绍下标准蒸发源坩埚装料操作步骤。


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蒸发源坩埚装料操作

第一步:准备以下材料以及工具;



材料:

①蒸发材料   ②标准蒸发源

工具:

①镊子(洁净)  ②无尘服   ③无尘手套   ④口罩  ⑤真空用铝箔

⑥无水酒精   ⑦超净布   ⑧蒸发源支撑架

第二步:安全检查,在操作蒸发源之前一定要确认之前的蒸发源生长过何种材料。有一部分材料属于有毒性的例如te,或者属于易燃易爆物品的例如碱金属,一定要按照msds的规范操作采用特殊工艺,以下仅针对无毒无害材料的装料做说明。

第三步:确认安全后,穿戴无尘服、无尘手套及口罩,先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松,再将磁耦合旋转驱动旋转至90度并把锁紧螺丝锁紧(即挡板处于打开位置)。




第四步:对于使用过的蒸发源,在挡板或者坩埚口的位置会有材料的残留,在拆解前一定要注意清洁这些残留的材料,避免掉入坩埚或者加热区域引起二次污染。




第五步:使用超净布蘸取无水酒精擦拭镊子,在横放的情况下使用镊子缓慢取出坩埚顶部的坩埚压片(避免残留材料跌落),将坩埚压片暂放在洁净的铝箔纸上。



第六步:小心取出坩埚,请注意某些陶瓷坩埚例如pbn由于壁厚和材质的原因非常脆弱,务必轻拿轻放。



第七步:目视检查坩埚,确认坩埚没有异常,检查坩埚内容物,一般不建议新旧材料混用,以及不同种材料混用。如有必要需要清空坩埚并使用超声波清洗或者更换新的坩埚。

第八步: 握住坩埚倾斜30-45度,使用洁净的镊子将材料沿坩埚壁缓慢滑入,过程中需要避免大颗粒材料猛烈撞击坩埚底部造成坩埚损坏。建议装料量最大不超过坩埚容积的三分之一。需要蒸发其他材料时需更换新坩埚以及坩埚压片避免交叉污染。




第九步:将坩埚缓慢放入蒸发源,并用坩埚压片压住。坩埚压片随着多次使用(高低温循环),会发生弹性减弱的情况,所以如果发现固定效果变差,请及时更换。坩埚压片能保持坩埚和加热区域的相对位置不变(特别是斜向安装),对保持束流的稳定和可重复性有很大作用。




第十步:确保坩埚安装就位稳定后,先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松,再将磁耦合旋转驱动旋转至0度并把锁紧螺丝锁紧(即挡板处于关闭位置)。



第十一步:将蒸发源竖直放置于专用支撑架上(待装入腔体),避免坩埚材料滑出。对于活泼敏感材料,建议尽早进入真空环境,以免材料发生氧化或吸水变性。安装前检查蒸发源电极间的电阻以及接地电阻,对比出厂数据,确保各项参数正常。



第十二步:接触材料的坩埚,铝箔,或者工具等,都需要及时收纳更换/清洗,分类摆放,避免交叉污染。

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安装时注意事项


1.装料前请确认材料和蒸发源的种类相匹配,例如温区,cold/hot lip,不合适的匹配将会影响生长过程甚至可能造成设备损坏;

2.装料前请确认材料和坩埚的种类相匹配,部分材料会和特定坩埚发生反应或者共融,不合理的匹配将会影响生长甚至造成设备损坏;

3.有任何疑问请咨询我司技术部门,邮箱:surface-science@fermi.com




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