超高真空pecvd-尊龙凯时官网

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  • 中科院苏州纳米所超高真空pecvd系统交付使用
    2020-05-22
    2020年5月,由费勉仪器设计并搭建完成的超高真空pecvd系统在苏州纳米所完成安装,并移交用户使用。 ▲与超高真空系统互联的pecvd系统传统的cvd系统在材料生长领域已取得了很好的成果,特别是石墨烯等二维材料的生长,cvd有着其他手段无法比拟的优势。传统cvd系统通常基
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