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产品概述 product overview

碱金属广泛应用于电子掺杂和阴极薄膜制备。但是由于碱金属的化学性能十分活泼,以至于不使用手套箱或者真空传输器,无法将纯的碱金属材料放入到蒸发源中。
一种使用碱金属释放剂(amd)的方法,可以安全高效的沉积诸如铯、钾、钠、铷、锂等超纯碱金属。碱金属释放剂保持纯的碱金属以稳定的盐与吸气材料相结合的形式存在。吸气剂的存在确保碱金属蒸发期间的超纯环境。
碱金属蒸发源兼容saes amd 型号x/nf/xx-/12/ft10 10,并最多可同时安装3条碱金属释放剂。独立通道沉积,或通过选择电源实现共沉积。所有碱金属释放剂使用简单、替换容易,并且没有其他额外的消耗品。


规格说明 specification


● 型号:e38am 

● 法兰尺寸:nw38cf(o.d. 2.75”)    

● 加热系统:电阻加热    
● 靶材(选件):saes 碱金属释放剂 (x/nf/xx/12/ft10 10)    
● 最大工作电流:默认7.5a, 取决于所选释放剂    
● 真空度:<10-6 mbar
● 最大烘烤温度:250 ℃   



配套产品 package product

碱金属条

ft=引脚长度

a=有效长度12mm 

以上所有尺寸单位:mm


碱金属材质

质量(mg)

起始蒸发电流(a)
平均值 标准偏差
5.2 4.7 0.2
2.9 5.3 0.2
1.7 6.0 0.2
4.5 5.3 0.2
0.8 7.3 0.2











产品尺寸 dimension drawing





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标签: evaporators
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