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产品概述 product overview

带可调节法兰线性驱动以标准ltm系列为基础,集成了可调节法兰,允许±3°范围内倾斜以便最终对准,可用于束线校准诊断或离子/溅射源校准等。调节通过三个螺杆实现。该系列可调节法兰在标准法兰基础上均配有相应螺栓孔。
标配为手动驱动,若需要电机驱动请与费勉联系。


规格说明 specification

● 工作气压:10-11mbar~1bar
● 最高烘烤温度:150°c
● 采用ss316材料焊接的波纹管
● 两端安装法兰:cf法兰,螺纹孔
● 可调角度:±3°
● 刻度以1mm递增


法兰尺寸 行程 a延长 a压缩 c 重量(kg) 型号
毫米 英寸 毫米
70 2.75 75 163 88 38 2.7 lpa35l75m
100 197 97 38 5.0 lpa35l100m
150 257 107 38 7.3 lpa35l150m


产品尺寸 dimension drawing


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标签: 旋转驱动
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