高精度全尺寸三维平移台-尊龙凯时官网

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产品概述 product overview

高精度全尺寸三维平移台可以使焊接波纹管在x, y,z三个方向上运动。采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆,结构强壮紧凑。配合伺服电机和光栅尺,可达到亚微米级精度。可与高精度dprf搭配使用。该产品作为模块化产品, 多个配置可供选择。
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规格说明 specification

● 工作气压:10-11 mbar~1 bar
● 局部波纹管部分烘烤120℃
● 采用ss316材料焊接的波纹管
● 通径:102mm
● 伺服电机驱动
● 采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆
● 光栅尺闭环反馈
● xyz轴分辨率:0.2μm
● 上端安装法兰:cf法兰,通孔
● 下端安装法兰:cf法兰,通孔 ● 上下法兰距离(z零位):410.5毫米

a法兰直径 b法兰直径 xy行程 z行程
毫米 英寸 毫米 英寸 毫米
152 6 203 8 ±12.5 可达650


产品尺寸 dimension drawing


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标签: 线性驱动
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