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产品概述 product overview

全尺寸三维平移台是一款精密平移台,提供x,y,z三个方向的自由度,具有很高的可操作性。x/y方向采用光轴和微分头组合结构,z方向采用光轴和滚珠丝杆的组合结构。该产品作为模块化产品, 多个配置可供选择。
欢迎来电获取更多的信息。


规格说明 specification

● 工作气压:10-11 mbar~1 bar
● 烘烤温度:120℃
● 采用ss316材料焊接的波纹管
● 通径:102mm
● 上端安装法兰:cf法兰,通孔
● 下端安装法兰:cf法兰,螺纹孔
● x/y驱动:步进电机(分辨率≤2μm,精度≤10μm) 微分头(分辨率5μm)
● z驱动:步进电机(分辨率≤1μm,精度≤10μm)
● 上下法兰距离(z零位):300mm

a法兰直径 b法兰直径 xy行程 z行程
毫米 英寸 毫米 英寸 毫米
152 6 203 8 ±12.5 可达650


产品尺寸 dimension drawing


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标签: 线性驱动
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