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产品概述 product overview

紧凑型三维平移台结构紧凑,可以在超高真空环境中提供精确的运动和样品位置控制。x/y方向采用微分头控制,z方向采用丝杆,使其运行更加平稳。焊接不锈钢波纹管,允许nw35cf移动法兰在有限范围内移动。安装法兰可选,nw35cf或nw63cf。


规格说明 specification

● 工作气压:10-11 mbar~1 bar
● 驱动方式:手动
● 最高烘烤温度:150℃
● 采用ss316材料焊接的波纹管
● 微分头分辨率:10μm
● z轴刻度以1mm递增
● 上端安装法兰:cf35,螺纹孔

● 下端安装法兰:cf63,通孔


法兰尺寸 xy行程 z行程 a压缩 a拉伸 重量(kg) 型号
毫米 英寸 毫米
70 2.75 ±12.5 75 165 240 10.2 sxyz63z75
100 165 265 10.5 sxyz63z100
150 165 315 10.9 sxyz63z150


产品尺寸 dimension drawing


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标签: 线性驱动
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