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产品概述 product overview

无液氦原位输运测量系统,由进样/制备室和分析室组成,可实现超高真空下的样品传递及测量;兼容旗状样品托,采用无液氦制冷机和压电陶瓷进针机制,特别适合原位生长薄膜的无损测试;可与mbe/pld/sputter等系统实现真空互联,完成薄膜样品的(磁)电阻、霍尔效应的测量(可扩充squid功能);系统预留了光学窗口,可实现光电联用的测量。


规格说明 specification

● 适用于薄膜样品的原位生长和原位输运测量
● 真空传递的旗状样品托,可实现原位换针、样品
● 准备腔具有样品掺杂、刻蚀、解理、镀膜等功能
● 磁场夹角可调,最大磁场强度达~10t
● 温度范围:5k~325k,最低可达4k(无液氦冷台)
● 测试通道数:5

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