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产品亮点 highlights

● 全金属密封臭氧液化池
● 无硅胶吸附剂
● 闭循环制冷机自动控温
● 提纯速度快,准备时间只需30分钟;提纯1小时,能产出约4标升高纯臭氧气体,可满足大部分用户十小时以上的生长需求
● 设计紧凑,尺寸 400*700*1200mm(高)

● 操作简便,即起即停

高纯臭氧应用领域:半导体,化学气相沉积(cvd),原子层沉积(ald),氧化物生长,表面处理,粒子清洁,光刻胶去除,灰化等。


测试曲线图 test curve

——————   实测饱和蒸汽压数据   —————— ——————    臭氧输出束流的稳定性和持续性   ——————


——————   注入腔气压与液化池温度关系   ——————




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