mbe-尊龙凯时官网

 mbe-尊龙凯时官网
尊龙凯时最新z6com的产品中心

mbe-300 您当前的位置: 尊龙凯时官网-尊龙凯时最新z6com > 尊龙凯时最新z6com的产品中心 > 薄膜制备 > 系统产品 > mbe-300

产品亮点 highlights

● 生长腔为柱状结构,材质为ss316不锈钢

● 模块化设计,既满足现有材料制备的需求,也提供未来扩展可能性

● 配置及性能指标满足高精度薄膜材料(衬底尺寸最大可达1-inch)制备的需求

● 应用范围广,如:超导薄膜,拓扑绝缘体,氧化物,过渡金属硫族化合物(tmdcs),异质结构,半导体,等等


技术规格 mechanical specifications


生长室
  生长腔内径:250mm
  生长腔极限真空:<5×10-10 mbar
  超高真空抽气系统:450l/s以上抽速分子泵(edwards或pfeiffer品牌),包含前级机械泵及配套真空管路、安全阀等;可选配离子泵、tsp等,以实现更好的本底真空
  真空测量:离子规及pirani真空规,覆盖2×10-11 mbar至大气压的测量范围,并与真空控制系统关联集成,实现系统的安全保护
  4轴样品架(垂直方向安装):匹配标准flag-type样品托,工作温度:室温-1200k;可选配低温模块(液氮制冷),电子束加热模块,或者direct heating模块
  包含膜厚测量仪(qcm)及配套的线性驱动,实现晶振探头的移动操作
  蒸发源安装口:10个;可根据用户实际需求进行低、中、高、电子束蒸发源的配置
  包含蒸发源挡板,可实现薄膜样品的自动生长
  可选配离子源(ion source)
  可选配等离子源(plasma source)
  可选配高能电子衍射仪(rheed)
  可选配液氮冷井
快速进样室
  本底真空:<5×10-8 mbar
  超高真空抽气系统:80l/s分子泵(edwards或pfeiffer品牌),包含前级机械泵及配套真空管路、安全阀、放气阀等
  真空测量:全量程真空规,覆盖5×10-9 mbar至大气压的测量范围,并与真空控制系统关联集成,实现系统的安全保护
  样品停放台:6个停放位(可升级至12个停放位)
  样品传递装置:600mm行程传样杆,包含样品托抓取头及法兰调节器
  vat cf63闸板阀,用于生长室与快速进样室的隔断
系统集成及控制
  真空控制及保护系统,集成真空规信号、分子泵控制、蒸发源保护、烘烤保护等功能
  包含蒸发源、样品架的温度控制软件
  包含挡板控制软件
  热风式烘烤模块,烘烤温度均匀,拆装方便











视频 video


相关下载 related downloads

    暂无下载内容
标签: mbe系统
网站地图