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产品概述 product overview

费勉仪器的高效射频等离子体裂解源,采用独创的射频聚焦激励技术,4种高效固态射频源作为驱动电源(13.56mhz/433mhz/915mhz/2450mhz),无需复杂的射频匹配网络,能够有效提高气体的离化效率。在等离子体引出口设置小孔结构,通过调节小孔结构优化引出原子/离子的稳定性和均匀性。与传统的射频等离子体源相比,该裂解源能够更好地控制由于开关阀门和开关射频引起的束流不稳定性,同时该裂解源可以通过不同材料的放电腔体裂解产生不同的等离子体源如氮源,氧源和氢源等,广泛应用于分子束外延系统(mbe)中氮化物生长、氮原子注入和掺杂、氧化物生长、氧原子的注入和掺杂以及氢原子表面的清洗等。


规格说明 specification

● 独创的射频聚焦技术:气体离化效率高,等离子体源稳定性高

● 4种固态射频驱动,结构简单,无复杂的外部匹配网络,易于操作

● 适用于n2, o2, h2, ch4, ar, kr 等多种工作气体

● 紧凑超高真空设计,适用于cf35/cf63/cf100等各种安装口

● 三个主要应用方向:mbe薄膜生长用原子源,表面改性用离子源,真空清洗用等离子体源


测试报告 test report








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标签: 紫外光源
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