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产品概述 product overview

4轴mbe高温样品架可提供样品在x、y、z三个方向的平动和绕z轴的旋转角r1(polar)。独特的灯丝加热结构,保证样品托温度可达1200k。主要由样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。


产品亮点 highlights

● 样品托最高温:1200k (辐射加热), 1500k(电子束加热);

● 多自由度: x、y、z、r1四个自由度运动;

● 精准控温:pid控温精度可达±0.1k;

● 兼容多种功能模块;


技术规格 mechanical specifications

r1轴向旋转
±179°
x/y 行程
±12.5mm
z 行程
最大 300 mm

相关配件 options

● 液氮冷却模块;
● e-beam加热;
● 高低温热隔离模块;
● 红外测温组件;

● 气动挡板;


加热测试曲线图 test curve


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标签: mbe样品架
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