mbe高低温样品架-尊龙凯时官网

 mbe高低温样品架-尊龙凯时官网
尊龙凯时最新z6com的产品中心

mbe高低温样品架-5轴 您当前的位置: 尊龙凯时官网-尊龙凯时最新z6com > 尊龙凯时最新z6com的产品中心 > 薄膜制备 > 部件产品 > mbe样品架 > mbe高低温样品架-5轴

产品概述 product overview

5轴mbe高低温样品架是可提供样品在x、y、z三个方向的平动和绕z轴的旋转角r1(polar)、面内旋转角r3(azimuthal)。采用液氮制冷,样品台最低温可达120k。独特的灯丝加热结构,保证样品托温度可达1000k。其中,x、y、z、r1通过xyz-r1真空位移台实现, r3通过样品架头的齿轮传动机构实现。整个样品操纵系统主要包括样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。 


产品亮点 highlights

● 样品台最低温:120k

● 样品托最高温:1000k (辐射加热), 1200k(电子束加热);

● 多自由度: x、y、z、r1、r3 五个自由度运动;

● 精准控温:pid控温精度可达±0.1k;

● 兼容多种功能模块;


技术规格 mechanical specifications

r1轴向旋转
±179°
x/y 行程
25mm(±12.5mm)
z 行程
最大 300 mm
面内旋转 360°

相关配件 options

● e-beam加热;
● 高低温热隔离模块;
● 红外测温组件;



视频 video


相关下载 related downloads

    暂无下载内容
标签: mbe样品架
网站地图