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产品概述 product overview

● 安装法兰:dn 350cf
● 衬底尺寸:3英寸
● 加热器:sic加热器
● k型热偶测温

● 旋转速度:0~30 rmp
● 温度范围:rt-1000℃
● z轴行程:50mm

● 定制长度

● 应用领域:薄膜制备、脉冲激光沉积、磁控溅射


相关配件 options

● 手动(气动)挡板
● 水冷套
● 温度计:k型或c型热偶
● z轴行程:最大250mm,手动/马达控制
● dprf: ±180°,手动/马达控制


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标签: 低温样品架
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