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产品亮点 highlights

● 加热器材料:sic

● 样品托最高温:1200k

● 两自由度:z和r1

● 精准控温:pid控温精度可达±0.1k

● 兼容掩膜板(mask)

● 重复定位精度:2μm

● 旋转角度: 0°,90°,180°,270°


技术规格 mechanical specifications

r1轴向旋转
360°
z 行程
75mm

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标签: mbe样品架
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