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产品概述 product overview

费勉设计一款多滤片快速切换装置,在腔体真空度不变的情况下能够使多种工作气体(he, ne, ar, kr, xe...)满足多光子能量输出的需求。


规格说明 specification

● 匹配bl1010sbl1200s系列真空紫外光源

● 特殊设计的多滤波片快速切换结构,包含4个滤波片

● 在一个vuv光源中兼容henearkrxe

● 更换便捷,无需破坏主腔真空


气体 能量 (ev) 波长(nm) 电流(na) 光子数photons/s
he 21.2 58.5 33.8 1.56e12
ne 16.85 73.59 11 4.43e11
ar 11.83 104.82 7.5 4.96e11
kr 10.03 123.58 2.4 7.5e11
xe 8.43 146.96 1.5 9.3e13

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标签: 紫外光源
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