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产品概述 product overview

费勉设计一款多气路面板用于提供优于100ppt级别高纯紫外光源工作气体,包含 he, ne, ar, kr, xe...等多种工作气体,提高光子分辨率,延长灯头使用寿命。


规格说明 specification

● 精密气体流量控制:0.1sccm-10sccm

● 纯度:纯化后气体纯度优于100ppt

● 多路气体切换

● 全金属vcr超高纯气路标准设计



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标签: 紫外光源
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