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产品概述 product overview

费勉仪器为超高真空复杂系统的样品传递专门设计研发了圆形传样系统,该腔体采用超高真空兼容材料ss316,形似ufo,侧面连接口可以对接不同的子系统,使样品可以在真空环境下来回自由切换并进行原位测量。

该传样系统机构末端可实现长距离伸缩运动,行程为同类产品中最长(发明专利号:zl 2015 1 0661875.0),同时机械臂末端带有样品抓取头用于样品抓取。其结构简洁高效,使得成本降低、操作简化,同时设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性,扩展了应用的范围,已有丰富的对接案例,如mbeapresstm等。

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规格说明 specification


rdc820
rdc520
腔体内径
700mm
550mm
机械臂安装法兰
cf200
cf200
观察口法兰
cf150
cf100
对接法兰
cf100
cf100
机械臂旋转
360°连续旋转
360°连续旋转
机械臂伸缩距离(伸出法兰口)
820mm
520mm
拓展能力
最多可连8个子系统
最多可连6个子系统
旋转重复精度
<0.1°
<0.1°
线性伸缩重复精度
<1mm
<1mm
最高烘烤温度
120℃
120℃




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标签: 传样设备
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